气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的，从外观上看热式气体质量流量计有两个直径Φ3 左右的不锈钢棒，这两个钢棒就是流量计的传感器。工作时，一个传感器不间断地测量介质的温度T1，并作为惠斯登电桥的一侧，我们称为测温传感器；另一个传感器作为惠斯登电桥的另一侧，自加热到高于介质温度到T2，它用于感测流体速度，称为速度传感器。该温度ΔT=T2-T1，T2>T1，当有流体流过时，由于气体分子碰撞传感器并将T2的热量带走，使T2 温度下降，若要使ΔT 保持不变，就应该提高T2 的供电电流，气体流动速度越快，带走的热量也就越多，气体流速和增加的热量存在固定的函数关系，这就是恒温差原理。

气体质量流量计既可进行气体流量计量工作，也可用于过程控制领域。它引进美国先进技术生产，无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。它的突出特点是：没有可动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；可靠性高；安装简单，操作方便。可以在所有领域全面替代孔板和差压式流量计。

气体质量流量计不但不受温度影响，而且不受压力的影响，热式气体质量流量计是真正的直接式质量流量计，用户不必对压力和温度进行修正。