压缩空气流量计采用微流量检测器的红外分析仪(西门子公司ULTRAMAT 23型)光学系统示意图。试述其工作原理。
    红外光源7被加热到600℃时发射出红外线，由切光片5调制成频率为8(1/3)Hz的间断光束，经测量气室4后进入检测器的接收气室。
接收气室由填充了待测组分的多层串联气室组成，第一层吸收红外辐射波带中间位置的能量，第二层吸收边界能量，两者之间通过微流量传感器3连接在一起。当切光片处于“接通”位置时，第一层接收气室11填充的待测组分吸收红外辐射能量后，受热膨胀，压力增大，气流经毛细管通道流向第二层接收气室2；当切光片处于“遮断”位置时，第一层气室填充气体冷却收缩，压力减小，第二层气室的气流经毛细管通道反向流回第一层气室。切光片交替通断，气流往返流经微流量传感器，便在检侧器电桥两端产生了交流波动信号，信号幅度大小与流经传感器的气体流量成正比，而与待测组分的浓度成反比。
 

    接收气室采用串联型结构是为了消除干扰组分对测量结果的影响。在接收气室中.除填充待测组分外，还根据被测气体组成填充一定比例的干扰组分。干扰组分在第一、二两层气室中对红外辐射的吸收，产生的压力作用方向相反，相互抵消。在ULTRA-MAT 23中，还设有第三层接收气室12，其功能是延长二层气室的光程长度，吸收红外辐射边缘能量，并可通过滑片调整三层气室的透光孔径大小，改变其红外吸收，最大限度地减少某个干优组分的影响，作用相当于一个可调光锥。